Micro electro mechanical systems

Micro electro mechanical systems

Microsystème électromécanique

Engrenages MEMS. La barre blanche donne l'échelle : 0,5 mm

Un microsystème électromécanique est un microsystème comprenant un ou plusieurs éléments mécaniques, utilisant l'électricité comme source d'énergie, en vue de réaliser une fonction de capteur et/ou d'actionneur avec au moins une structure présentant des dimensions micrométriques; et la fonction du système est en partie assurée par la forme de cette structure. Le terme systèmes microélectromécaniques est la version française de l'acronyme anglais MEMS (Microelectromechanical systems). En Europe, le terme MST pour MicroSystem Technology est également d'usage, bien que nettement moins répandu.

Issus de la technologie de la micro-électronique, les MEMS font appel pour leur fabrication aux microtechnologies, qui permettent une production à grande échelle. Ils sont utilisés dans des domaines aussi variés que l'automobile, l'aéronautique, la médecine, la biologie, les télécommunications, ainsi que dans certaines applications "de tous les jours" telles que certains vidéoprojecteurs, téléviseurs haute-définition ou coussins gonflables de sécurité pour automobiles (« Airbags »).

Sommaire

Histoire

Les MEMS ont été développés au début des années 1970 en tant que dérivés de la micro-électronique et leur première commercialisation remonte aux années 1980 avec des capteurs de pression sur silicium qui remplacèrent rapidement les technologies plus anciennes et constituent encore une part importante du marché des MEMS. Depuis lors les MEMS ont connu un important développement et restent encore en plein essor.

C'est un domaine de recherche relativement récent qui combine l'utilisation des techniques électroniques, informatiques, chimiques, mécaniques, optiques. Les MEMS sont le plus souvent à base de silicium, mais on utilise également d'autres matériaux suivant l'adéquation de leurs propriétés physiques à certaines applications, comme les métaux, les matériaux piézoélectriques, divers polymères, etc.

Face au développement de ce domaine, on a vu apparaitre des termes dérivés pour désigner des MEMS spécialisés. Par exemple, dans le domaine optique on utilise le terme MOEMS (MicroOptoElectro Mechanical Systems) ou Optical MEMS, alors que dans le domaine biologique on utilise bioMEMS. On notera aussi un nouveau terme, NEMS (Nano Electro Mechanical Systems), Nanosystèmes en français, désignant des structures semblables aux MEMS mais de taille sub-micrométrique.

Technologie de fabrication

Les technologies de fabrication des microsystèmes dérivent assez largement de celles de la microélectroniques. Des Wafers de silicium sont généralement utilisés comme substrat, et les microsystèmes sont produits par une succession d'étapes d'épitaxie, de résinage, de photolithographie et d'attaque sèche ou humide.

Les principales spécificités des technologies de microsystèmes, comparées à la microélectronique, sont liées à la réalisation de parties mobiles, donc relativement détachées du substrat, ce qui s'obtient généralement par recours à une couche sacrificielle.

Composition

Les MEMS sont composés de mécanismes mécaniques (résonateurs, poutres, micromoteurs, etc.) réalisés sur silicium à l’échelle micrométrique. Ces différents éléments mécaniques sont mis en mouvement (actionnés) grâce aux forces générées par des transducteurs électromécaniques. Ceux-ci sont alimentés par des tensions produites avec des circuits électroniques avoisinants. Les transducteurs électromécaniques jouent alors le rôle de l’interface entre les domaines mécanique et électrique. Les transducteurs électrostatiques ou capacitifs y sont utilisés le plus souvent, bien que l’on puisse rencontrer des interfaces électromécaniques basées sur des phénomènes magnétiques et thermomécaniques.

Exemples d'application

Si les laboratoires ont imaginé et produit un nombre immense de MEMS, avec des applications allant de l'électronique à la biologie, les plus importants (industriellement) sont :

.

  • Les vannes de contrôle microfluidiques.
  • Les micro-relais, le plus souvent à actionnement capacitif.
  • Les émetteurs/récepteurs acoustiques, comme les cMUTs (capacitifs) ou les pMUTs (piézoélectriques).
  • Les capteurs de pression.
  • Les filtres électromécaniques, qui isolent une fréquence du signal d'entrée en utilisant la résonance d'un système masse-ressort.

Voir aussi

Articles connexes

Liens externes

Sources

  • Portail des micro et nanotechnologies Portail des micro et nanotechnologies
  • Portail de l’électricité et de l’électronique Portail de l’électricité et de l’électronique
Ce document provient de « Microsyst%C3%A8me %C3%A9lectrom%C3%A9canique ».

Wikimedia Foundation. 2010.

Contenu soumis à la licence CC-BY-SA. Source : Article Micro electro mechanical systems de Wikipédia en français (auteurs)

Игры ⚽ Нужно сделать НИР?

Regardez d'autres dictionnaires:

  • Micro Electro Mechanical Systems —  MEMS  (Micro Electro Mechanical Systems)  МЭМС (Микроэлектромеханические системы)   Интегрированные микроустройства или системы, комбинирующие электрические и механические компоненты, изготовленные по технологиям, совместимым с технологией… …   Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.

  • Hybrid Insect Micro-Electro-Mechanical Systems — is a DARPA project with the goal of developing tightly coupled machine insect interfaces by placing micro mechanical systems inside the insects during the early stages of metamorphosis . The primary application is surveillance.ources*… …   Wikipedia

  • Micro-opto-mechanical systems — (MOMS) are a special class of Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) which use optical and mechanical, but not electrical components. Compare Microelectromechanical Systems (MEMS) Micro Opto Electromechanical Systems (MOEMS)… …   Wikipedia

  • Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems — (MOEMS) is not a special class of Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) but in fact it is MEMS merged with Micro optics which involves sensing or manipulating optical signals on a very small size scale using integrated mechanical, optical, and… …   Wikipedia

  • Micro-Electro-Mechanical System — Mechanische Komponente (Zahnradgetriebe) eines Mikrosystem Ein Mikrosystem ist ein miniaturisiertes Gerät, das für eine bestimmte Aufgabe entwickelt wurde. Die Bezeichnung Mikrosystem leitet sich daraus ab, dass die Komponenten kleinste… …   Deutsch Wikipedia

  • Micro Optical Electro Mechanical Systems —  MOEMS  (Micro Optical Electro Mechanical Systems)  Микрооптоэлектромеханические системы [МОЭМС]   Микросхемы, в тело которых интегрированы волноводы или другие оптические элементы. Возможность осуществления сложных операций со световым лучом… …   Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.

  • Micro-opto-electromechanical systems — (MOEMS) are a special class of Micro electro mechanical systems (MEMS) which involves sensing or manipulating optical signals on a very small size scale using integrated mechanical and electrical systems. MOEMS includes a wide variety of devices… …   Wikipedia

  • Mechanical engineering — Mechanical engineers design and build engines and power plants …   Wikipedia

  • Micro air vehicle — Naval Air Weapons Station China Lake, California A Micro Air Vehicle (MAV) flies over a simulated combat area during an operational test flight. The MAV is in the operational test phase with military Explosive Ordnance Disposal (EOD) teams to… …   Wikipedia

  • Alcatel Micro Machining Systems — is a French manufacturer of Deep Reactive Ion Etching Systems. The company s headquarters are in Annecy, France. Alcatel Micro Machining Systems is also called AMMS. History Alcatel Vacuum Technology, based in Annecy (France) has been involved in …   Wikipedia

Share the article and excerpts

Direct link
Do a right-click on the link above
and select “Copy Link”