7783-61-1

Tétrafluorure de silicium

Tétrafluorure de silicium
Structure du tétrafluorure de silicium
Général
Synonymes	Tetrafluorosilane
No CAS	7783-61-1
No EINECS	232-015-5
SMILES	[Si](F)(F)(F)F eMolecules PubChem
InChI	InChI=1/F4Si/c1-5(2,3)4
Apparence	gaz incolore, d'odeur acre.[1]
Propriétés chimiques
Formule brute	F4SiSiF4
Masse molaire	104,0791 g∙mol-1 F 73,02 %, Si 26,98 %,
Propriétés physiques
T° fusion	-90 °C
T° ébullition	-86 °C
Solubilité	dans l'eau : réaction[1]
Masse volumique	1 660 kg/m3 à -95 °C
Précautions
Transport
-    1859    Numéro ONU : 1859 : TÉTRAFLUORURE DE SILICIUM COMPRIMÉ
NFPA 704
0 3 2 W
SIMDUT[2]
A, D1A, E, A : Gaz comprimé température critique = -14,2 °C D1A : Matière très toxique ayant des effets immédiats graves Transport des marchandises dangereuses : classe 2.3 E : Matière corrosive Transport des marchandises dangereuses : classe 8 Divulgation à 1,0% selon la liste de divulgation des ingrédients
Unités du SI & CNTP, sauf indication contraire.

Le tétrafluorure de silicium, également appelé tétrafluorosilane, est un composé du silicium de formule SiF₄ qui se présente sous forme d'un gaz incolore dont la plage d'existence à l'état liquide est singulièrement étroite : entre -90 °C et -86 °C.

Utilisation

Le tétrafluorure de silicium est utilisé dans l'implantation ionique, et, en conjonction avec le silane (SiH4), pour le dépôt par plasma de silice fluorée^[3].

Références

1. ↑ ^{a  et b} TETRAFLUORURE DE SILICIUM, fiche de sécurité du Programme International sur la Sécurité des Substances Chimiques, consultée le 9 mai 2009
2. ↑ « Tétrafluorure de silicium » dans la base de données de produits chimiques Reptox de la CSST (organisme canadien responsable de la sécurité et de la santé au travail), consulté le 25 avril 2009
3. ↑ [1], air liquide, consulté le 7 septembre 2009

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