7783-61-1

Tétrafluorure de silicium

Tétrafluorure de silicium
Silicon-tetrafluoride-2D-dimensions.pngSilicon-tetrafluoride-3D-vdW.png
Structure du tétrafluorure de silicium
Général
Synonymes Tetrafluorosilane
No CAS 7783-61-1
No EINECS 232-015-5
SMILES
InChI
Apparence gaz incolore, d'odeur acre.[1]
Propriétés chimiques
Formule brute F4SiSiF4
Masse molaire 104,0791 gmol-1
F 73,02 %, Si 26,98 %,
Propriétés physiques
T° fusion -90 °C
T° ébullition -86 °C
Solubilité dans l'eau : réaction[1]
Masse volumique 1 660 kg/m3 à -95 °C
Précautions
Transport
-
   1859   
NFPA 704

Symbole NFPA 704

SIMDUT[2]
A : Gaz compriméD1A : Matière très toxique ayant des effets immédiats gravesE : Matière corrosive
A, D1A, E,
Unités du SI & CNTP, sauf indication contraire.

Le tétrafluorure de silicium, également appelé tétrafluorosilane, est un composé du silicium de formule SiF4 qui se présente sous forme d'un gaz incolore dont la plage d'existence à l'état liquide est singulièrement étroite : entre -90 °C et -86 °C.

Utilisation

Le tétrafluorure de silicium est utilisé dans l'implantation ionique, et, en conjonction avec le silane (SiH4), pour le dépôt par plasma de silice fluorée[3].

Références

  1. a  et b TETRAFLUORURE DE SILICIUM, fiche de sécurité du Programme International sur la Sécurité des Substances Chimiques, consultée le 9 mai 2009
  2. « Tétrafluorure de silicium » dans la base de données de produits chimiques Reptox de la CSST (organisme canadien responsable de la sécurité et de la santé au travail), consulté le 25 avril 2009
  3. [1], air liquide, consulté le 7 septembre 2009
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